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紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。

激光氨氣檢測儀AM5302-EK由四方光電自主研發，是基于可調諧半導體激光吸收光譜技術（TDLAS)的高性能光學氣體分析儀。窄帶激光光譜吸收技術對氨氣具有選擇性，不受其它氣體、水汽、粉塵等干擾，可在惡劣工況及復雜氣體環境下穩定工作。系統配備高性能探頭與特殊工藝處理氣室，在提高檢測精度與靈敏度的同時，也保證了性能的穩定性與更長的使用壽命。

低濃度粉塵儀OPC-6510A采用光學散射原理，可精確檢測并計算單位體積內空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數，內置四方光電塵源智能識別模塊，具有6L/min大流量的氣體采樣速率，可同時輸出0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、5.0μm、8.0μm、10μm十二個通道的顆粒數，PM2.5、PM10質量濃度。

制氧機鼓風機是由四方光電自主研發的一款直流無刷鼓風機，無需外部管道即可改變空氣方向，是定點冷卻高密度設備的理想選擇。DC9733鼓風機采用BLDC電機，選用進口軸承和PBT塑料外殼，具有重量輕、散熱快、噪音低和壽命長的優勢。

紅外粉塵傳感器采用光學散射原理，可檢測室內空氣中粒徑在1μm以上顆粒物濃度數值的變化趨勢，內置溫度補償功能，確保在不同環境條件下都能保持穩定的測量性能。

PM1003紅外粉塵傳感器采用光學散射原理，可檢測室內空氣中粒徑在1μm以上顆粒物濃度數值的變化趨勢；內置電磁屏蔽設計和溫度補償算法，出廠進行濃度標定，具有較好的一致性和穩定性。

可燃氣體探測器JT-AM5301-JG是一款安裝在廚房等可能發生燃氣(CH4)泄漏場所的氣體報警器，當空氣中的燃氣濃度超過設定值時探測器會觸發報警功能，并對外發出聲光報警信號。若設備連接報警主機和接警中心則可聯網報警,同時關閉燃氣管道閥門；還可通過手機APP實時監控，在超過報警濃度后APP會及時彈窗報警信息，保障生命和財產安全。